Dosbarthiad synhwyrydd amrywio laser
Rhennir technoleg synhwyrydd amrywio laser yn ddull mesur pellter absoliwt a dull mesur dadleoliad micro yn ôl yr ystod fesur. Wedi'i isrannu yn ôl y dull amrywio, mae'r dull amrywio pellter absoliwt yn bennaf yn cynnwys amrywio laser pwls ac amrywio laser cam, ac mae'r mesuriad dadleoli micro yn bennaf yn cynnwys amrywio laser triongli ac amrywio laser interferometrig.
Egwyddor y synhwyrydd laser pwls yw: mae'r laser pwls yn allyrru laser pwls am gyfnod byr iawn, ac ar ôl pasio'r pellter i'w fesur, mae'n cyrraedd y targed i'w fesur, a bydd rhan o'r egni yn cael ei adlewyrchu yn ôl. . Mae'r adlais yn dychwelyd i'r darganfyddwr amrediad ac yn cael ei dderbyn gan ffotosynhwyrydd. Yn ôl yr egwyl rhwng y prif signal tonnau a'r signal adleisio, hynny yw, pan fydd y pwls laser yn teithio yn ôl ac ymlaen o'r laser i'r targed i'w fesur, gellir cyfrifo'r pellter i'r targed i'w fesur.
Egwyddor y synhwyrydd ystod laser cam yw: modiwleiddio dwysedd golau y golau laser a allyrrir, a defnyddio newid cam y signal modiwleiddio pan fydd y gofod laser yn lluosogi. Yn ôl tonfedd y don fodiwleiddio, cyfrifir y pellter a gynrychiolir gan yr oedi cam. Hynny yw, defnyddir y dull anuniongyrchol o fesur oedi cam yn lle mesur yn uniongyrchol yr amser sydd ei angen ar gyfer taith gron y laser i wireddu mesur pellter. Gall cywirdeb y dull hwn gyrraedd lefel milimetr.
Y synhwyrydd amrywio laser triongli yw'r golau a allyrrir gan y laser, sy'n digwydd ar wyneb y gwrthrych mesuredig ar ôl cael ei ganolbwyntio gan y lens cydgyfeiriol, ac mae'r lens derbyn yn derbyn y golau gwasgaredig o'r pwynt golau digwyddiad a'i ddelweddau ar y sensitif. wyneb y synhwyrydd sefyllfa ffotodrydanol. Pan fydd y gwrthrych yn symud, mae'r pellter cymharol a symudir gan y gwrthrych yn cael ei gyfrifo trwy ddadleoli'r man golau ar yr awyren ddelweddu. Mae datrysiad amrediad laser triongli yn uchel iawn, a all gyrraedd trefn micronau.
Mae'r synhwyrydd amrywio laser interferometrig yn symud y targed mesuredig ac yn mesur y cydlyniad, ac yn cwblhau mesuriad y pellter pellter ar ôl cyfrif. Felly, mae sensitifrwydd y mesuriad interferometrig yn uchel iawn a gall gyrraedd y lefel nanomedr.
