Egwyddor canfod micro-ymyrraeth o ficro-topograffeg wyneb a statws datblygu microsgop ymyrraeth
(1) Newidiadau yng nghwmpas y cais Mae'r galw cynharaf am ganfod topograffeg microsgopig arwyneb yn cael ei amlygu wrth reoli iro, ffrithiant a gwisgo yn y diwydiant peiriannau yn ofalus. Gyda datblygiad cyflym llawer o ddisgyblaethau ffin, mae cwmpas y galw hwn wedi ehangu i opteg pelydr-X, diwydiant gwybodaeth disg optegol, microelectroneg, ffiseg laser cyfradd uchel a llawer o feysydd eraill;
(2) Cyn i gyfansoddiad yr offeryn newid, defnyddiodd y profwr micro-morffoleg arwyneb y math stylus, a oedd o'r math mecanyddol a thrydanol; gan fod y gofynion ar gyfer profion annistrywiol manwl uchel wedi'u cyflwyno mewn sawl maes, cyflwynwyd dyfeisiau newydd ac egwyddorion newydd. Mae'r offeryn yn optegol a mecanyddol, trydan, cyfrifiad math cyfunol;
(3) Mae ymddangosiad parhaus egwyddorion newydd yn cael ei amlygu'n bennaf yn:
Mae ymddangosiad ffurfiau interferomedr newydd yn golygu datblygiad o'r ffurfiau adnabyddus Fizeau, Linnik, a Michelson i'r math Mirau newydd. Mae gan y math hwn o interferomedr strwythur cryno a pherfformiad gwrth-ymyrraeth da. Dyma'r brif ffurf interferomedr sy'n addas ar gyfer yr egwyddor prawf newydd VSI a FDA. Mae'r awdur o'r farn bod angen ystyried y ddau bwynt canlynol wrth ddatblygu microsgop Mirau: (1) Er mwyn sicrhau pellter gweithio penodol, mae angen ei ddylunio'n arbennig; (2) Ni ddylai trwch y holltwr trawst, plât iawndal, a phlât safonol fod yn fawr, yn gyffredinol μm neu'n llai na μm Felly, mae'r gofynion ar gyfer eu dewis deunydd a'u cotio yn uchel. Mae yna fathau eraill o Dyson a Normarski gyda llwybr optegol cyffredin. O'i gymharu â ffurfiau eraill fel Dyson a Normarski, mae'r microsgop ymyrraeth llwybr optegol hollt yn hawdd i wella cywirdeb oherwydd y defnydd o arwyneb safonol manwl uchel, ond mae ganddo ofynion llym ar amodau amgylcheddol (megis tymheredd, dirgryniad, ac ati. .), ac fe'i defnyddir yn gyffredinol mewn labordai neu adran metroleg Safonol; nid yw microsgop ymyrraeth llwybr optegol cyffredin yn sensitif i ymyrraeth allanol megis dirgryniad mecanyddol a newid tymheredd, ac mae'n addas i'w archwilio ar-lein yn y gweithdy.
Yn ogystal â chyflwyno'r egwyddor newydd o ymyrraeth newid cam (PSI) ym maes profi ymyrraeth, mae egwyddorion prawf newydd wedi dod i'r amlwg, yn ogystal ag egwyddorion dadansoddi parth amlder (FDA) wedi'u diweddaru ac egwyddorion ymyrraeth sganio fertigol (VSI) . O'i gymharu â'r egwyddor o ymyrraeth newid cam, gall FDA a VSI ddileu amwysedd neidiau cam, ac maent yn addas ar gyfer gofynion profi rhigolau a grisiau ym meysydd microelectroneg a diwydiannau gwybodaeth disg optegol; o'i gymharu â FDA a VSI, mae gan y dull mesur cam blaenorol gyfradd defnyddio data Uchel, manwl uchel, gall ddileu aberiad cromatig y system optegol interferomedr, ac ati, mae gan yr olaf yr anfanteision canlynol yn ogystal â defnyddio data isel: (1) Oherwydd bod sŵn ar hap yn effeithio'n hawdd ar y cyferbyniad, mae'r gwall ar hap weithiau'n fawr:; (2) mae cyferbyniad yn gysylltiedig â dosbarthiad dwyster sbectrol y ffynhonnell golau gwyn, felly mae'r gofynion ar gyfer sefydlogrwydd dwyster sbectrol y ffynhonnell golau gwyn yn gymharol uchel.
(4) Mae newid ffynhonnell golau yn mabwysiadu'r egwyddor o ymyrraeth golau gwyn yn seiliedig ar y llwybr optegol cyfartal. O'i gymharu â'r ffynhonnell golau laser, gall y ffynhonnell golau llong ddileu'r sŵn yn yr ymylon ymyrraeth a chanolbwyntio'n gywir ar yr wyneb mesuredig, a gall ddatrys y broblem o drawsnewidiadau cam aneglur. Mae'n addas ar gyfer micro-opteg a microelectroneg gydag ystod fesur fawr a gofynion Profi cywirdeb uwch.
