Egwyddorion a chymwysiadau microsgopeg electron sganio (SEM)
Nodweddion Sganio Microsgop Electron
O'i gymharu â microsgop optegol a microsgop electron trawsyrru, mae gan ficrosgop electron sganio y nodweddion canlynol:
(i) Mae'n gallu arsylwi'n uniongyrchol ar strwythur arwyneb y sampl, a gall maint y sampl fod mor fawr â 120mm x 80mm x 50mm.
(ii) Mae'r broses o baratoi sampl yn syml, heb orfod ei thorri'n dafelli tenau.
(iii) Gellir cyfieithu'r sampl a'i gylchdroi mewn tair gradd o ofod yn y siambr samplu, fel y gellir arsylwi'r sampl o wahanol onglau.
(iv) Mae dyfnder y cae yn fawr, ac mae'r ddelwedd yn gyfoethog mewn synnwyr tri dimensiwn. Mae dyfnder maes SEM gannoedd o weithiau'n fwy na dyfnder microsgop optegol a degau o weithiau'n fwy na microsgop electron trawsyrru.
(E) ystod chwyddo delwedd yn eang, mae'r penderfyniad hefyd yn gymharol uchel. Gellir ei chwyddo dwsin o weithiau i gannoedd o filoedd o weithiau, yn y bôn mae'n cynnwys o'r chwyddwydr, microsgop optegol tan yr ystod chwyddo microsgop electron trosglwyddo. Cydraniad rhwng y microsgop optegol a microsgop electron trawsyrru, hyd at 3nm.
(vi) Mae difrod a halogiad y sampl gan y pelydr electron yn fach.
(vii) Wrth arsylwi ar y morffoleg, gellir defnyddio signalau eraill a allyrrir o'r sampl ar gyfer dadansoddiad cyfansoddiadol micro-ranbarthol.
Strwythur ac egwyddor gweithio microsgop electron sganio
(a) Adeiledd 1. casgen
Mae'r gasgen yn cynnwys y gwn electron, drych cyddwysydd, lens gwrthrychol a system sganio. Ei rôl yw cynhyrchu pelydr electron mân iawn (diamedr o tua ychydig nm), a gwneud y trawst electron yn y sganio wyneb sampl, tra excitation o amrywiaeth o signalau.
System Casglu a Phrosesu Signalau Electron
Yn y siambr sampl, mae'r pelydr electron sganio yn rhyngweithio â'r sampl i gynhyrchu amrywiaeth o signalau, gan gynnwys electronau eilaidd, electronau ôl-wasgaredig, pelydrau-X, electronau wedi'u hamsugno, electronau Auger, ac ati. Yn y signalau uchod, y pwysicaf yw'r electronau eilaidd, sef yr electronau allanol yn yr atomau sampl wedi'u cyffroi gan yr electronau digwyddiad, a gynhyrchir tua ychydig nm i ddegau o nm o dan wyneb y sampl, a'i gynhyrchiad. cyfradd yn dibynnu'n bennaf ar y morffoleg a chyfansoddiad y sampl. Cyfeirir at y ddelwedd microsgop electron sganio yn gyffredin fel y ddelwedd electron eilaidd, sef y signal electron mwyaf defnyddiol ar gyfer astudio morffoleg wyneb y sampl. Mae canfod synhwyrydd electronau eilaidd (Ffigur 15 (2) y stiliwr yn scintillator, pan fydd yr electronau'n taro'r scintillator, 1 y mae'r golau yn cael ei gynhyrchu, mae'r golau hwn yn cael ei drosglwyddo i'r tiwb ffotomultiplier gan y bibell ysgafn, y signal golau sy'n yn cael ei drawsnewid yn signal cyfredol, ac yna gan y preamplifier a'r ymhelaethiad fideo, mae'r signal cyfredol yn cael ei drawsnewid yn signal foltedd, ac yn olaf yn cael ei anfon at giât y tiwb llun.
