Cymhwyso Microsgopau Cydffocal yn y Diwydiant Lled-ddargludyddion
Yn y broses o gynhyrchu lled-ddargludyddion ar raddfa fawr, mae angen adneuo sglodion cylched integredig ar y wafer, yna eu rhannu'n unedau amrywiol, ac yn olaf eu pecynnu a'u sodro. Felly, mae rheolaeth fanwl gywir a mesur maint rhigol torri waffer yn gyswllt hanfodol yn y broses gynhyrchu.
Mae microsgop confocal cyfres VT6000 yn offer archwilio microsgopig a lansiwyd gan Zhongtu Instrument, a ddefnyddir yn eang mewn prosesau gweithgynhyrchu a phecynnu lled-ddargludyddion. Gall berfformio sganio di-gyswllt ac ail-greu morffoleg nodweddion arwyneb tri dimensiwn gyda siapiau cymhleth a rhigolau torri laser serth.
Mae gan ficrosgop confocal cyfres VT6000 gydraniad optegol rhagorol a gall arsylwi nodweddion wyneb y wafer yn fanwl trwy system ddelweddu glir, megis arsylwi a oes diffygion megis torri ymyl a chrafiadau ar wyneb y wafer. Gall y twr trydan newid yn awtomatig rhwng chwyddhadau gwrthrychol gwahanol, ac mae'r feddalwedd yn dal ymylon nodwedd yn awtomatig ar gyfer mesur maint dau ddimensiwn cyflym, a thrwy hynny ganfod a rheoli ansawdd wyneb y waffer yn fwy effeithiol.
Yn y broses o dorri wafferi â laser, mae angen lleoliad manwl gywir i sicrhau y gellir torri rhigolau ar hyd y gyfuchlin gywir ar y wafer. Mae ansawdd segmentu wafferi fel arfer yn cael ei fesur gan ddyfnder a lled y rhigolau torri. Mae gan ficrosgop confocal cyfres VT6000, sy'n seiliedig ar dechnoleg confocal ac sy'n cynnwys modiwlau sganio cyflymder uchel, feddalwedd dadansoddi proffesiynol gyda swyddogaethau aml-ardal a mesur awtomatig. Gall ail-greu cyfuchlin tri dimensiwn rhigol laser y wafer a brofwyd yn gyflym a pherfformio dadansoddiad aml-broffil i gael gwybodaeth dyfnder a lled sianel y trawstoriad.
