Egwyddor Weithredol a Chymwysiadau Microsgopau Grym Atomig
1, Egwyddorion sylfaenol
Mae microsgopeg grym atomig yn defnyddio'r grym rhyngweithio (grym atomig) rhwng wyneb sampl a blaen stiliwr mân i fesur morffoleg yr arwyneb.
Mae blaen y stiliwr ar gantilifr bach hyblyg, ac mae'r rhyngweithiad a gynhyrchir pan fydd y stiliwr yn cysylltu ag arwyneb y sampl yn cael ei ganfod ar ffurf gwyriad cantilifer. Mae'r pellter rhwng arwyneb y sampl a'r stiliwr yn llai na 3-4nm, ac mae'r grym a ganfyddir rhyngddynt yn llai na 10-8N. Mae'r golau o'r deuod laser yn canolbwyntio ar gefn y cantilifer. Pan fydd y cantilifer yn plygu o dan weithrediad grym, mae'r golau adlewyrchiedig yn cael ei allwyro, a defnyddir ffotosynhwyrydd sy'n sensitif i safle i wyro'r ongl. Yna, mae'r data a gasglwyd yn cael ei brosesu gan gyfrifiadur i gael delwedd tri dimensiwn o arwyneb y sampl.
Rhoddir stiliwr cantilifer cyflawn ar wyneb y sampl a reolir gan sganiwr piezoelectrig a'i sganio i dri chyfeiriad gyda lled cam o 0.1 nm neu lai mewn cywirdeb llorweddol. Yn gyffredinol, wrth sganio arwyneb y sampl yn fanwl (echel XY), mae'r echelin Z a reolir gan adborth dadleoli'r cantilifer yn aros yn sefydlog ac yn ddigyfnewid. Mae'r gwerthoedd echel Z sy'n rhoi adborth ar yr ymateb sganio yn cael eu mewnbynnu i'r cyfrifiadur i'w prosesu, gan arwain at ddelwedd arsylwi (delwedd 3D) o arwyneb y sampl.
Nodweddion Microsgopeg Grym Atomig
1. Mae'r gallu cydraniad uchel yn llawer uwch na gallu sganio microsgopau electron (SEM) a mesuryddion garwedd optegol. Mae'r data tri dimensiwn ar wyneb y sampl yn bodloni gofynion cynyddol ficrosgopig ymchwil, cynhyrchu ac arolygu ansawdd.
2. Heb fod yn ddinistriol, mae'r grym rhyngweithio rhwng y stiliwr ac arwyneb y sampl yn is na 10-8N, sy'n llawer is na gwasgedd mesuryddion garwedd stylus traddodiadol. Felly, ni fydd yn niweidio'r sampl ac nid oes unrhyw broblem difrod trawst electron o sganio microsgopeg electron. Yn ogystal, mae sganio microsgopeg electron yn gofyn am driniaeth cotio ar samplau nad ydynt yn ddargludol, tra nad yw microsgopeg grym atomig yn gwneud hynny.
3. Mae ganddi ystod eang o gymwysiadau a gellir ei ddefnyddio ar gyfer arsylwi arwyneb, mesur maint, mesur garwedd wyneb, dadansoddi maint gronynnau, prosesu ystadegol o allwthiadau a phyllau, gwerthuso amodau ffurfio ffilm, mesur maint cam o haenau amddiffynnol, gwerthusiad gwastadrwydd o ffilmiau inswleiddio interlayer, gwerthusiad cotio VCD, gwerthusiad o broses trin ffrithiant o ffilmiau gogwydd, dadansoddi diffygion, ac ati.
4. Mae gan y meddalwedd alluoedd prosesu cryf, a gellir gosod ei faint arddangos delwedd 3D, ongl gwylio, lliw arddangos, a sglein yn rhydd. A gellir dewis rhwydwaith, llinellau cyfuchlin, ac arddangosfeydd llinell. Rheolaeth macro o brosesu delweddau, dadansoddi-siâp trawstoriadol a garwder, dadansoddi morffoleg, a swyddogaethau eraill.
