Beth yw'r ffactorau sy'n effeithio ar ddatrysiad microsgopeg electronau trawsyrru?
A. Diamedr sbot pelydr electron digwyddiad: dyma derfyn pŵer datrys microsgop electron sganio. Yn gyffredinol, gellir lleihau diamedr sbot trawst lleiaf y gwn electron catod poeth i 6nm, a gall y gwn electron allyriadau maes wneud diamedr sbot trawst yn llai na 3nm.
B. Effaith ehangu'r pelydr electron digwyddiad yn y sampl: mae graddau'r trylediad yn dibynnu ar egni'r electronau trawst digwyddiad a rhif atomig y sampl. Po uchaf yw egni'r trawst digwyddiad, y lleiaf yw rhif atomig y sampl, y mwyaf yw cyfaint y trawst electron, ac mae'r ardal lle mae'r signal yn cael ei gynhyrchu yn cynyddu gyda thrylediad y trawst electron, a thrwy hynny leihau'r cydraniad.
C. Dull delweddu a signal modiwleiddio a ddefnyddir: pan ddefnyddir yr electron uwchradd fel y signal modiwleiddio, oherwydd ei egni isel (llai na 50 eV) a llwybr rhad ac am ddim cymedrig byr (tua 10-100 nm), dim ond yr haen wyneb o 50-100 nm Dim ond o'r wyneb sampl y gall yr electronau uwchradd yn yr ystod dyfnder ddianc, ac mae nifer y gwasgariad yn gyfyngedig iawn, ac yn y bôn nid yw'n ehangu'n ochrol. Felly, mae cydraniad y ddelwedd electron eilaidd oddeutu hafal i ddiamedr y fan a'r lle trawst. Pan ddefnyddir yr electronau backscattered fel y signal modiwleiddio, mae egni'r electronau backscattered yn gymharol uchel ac mae'r gallu treiddio yn gryf, felly gallant ddianc o ardal ddyfnach yn y sampl (tua 30 y cant o'r dyfnder effeithiol). Yn yr ystod dyfnder hwn, mae gan yr electronau digwyddiad ehangiad ochrol eithaf eang, felly mae cydraniad y ddelwedd electronau ôl-wasgaredig yn is na chydraniad y ddelwedd electronau eilaidd, yn gyffredinol tua 500-2000nm. Os defnyddir dulliau gweithredu eraill fel amsugno electronau, pelydrau-X, catodofluorescence, dargludiant a achosir gan belydr neu botensial fel signalau modiwleiddio, gan fod y signalau'n dod o'r ardal wasgaru trawst electron gyfan, mae cydraniad y delweddau sganio a gafwyd yn gymharol isel. , yn gyffredinol ar l000 nm Neu uwchlaw l0000nm.
