Sawl nanometr y gall microsgop cydffocal ei weld?
Nod gwyddor deunyddiau yw astudio dylanwad strwythur arwyneb deunydd ar ei briodweddau arwyneb. Felly, mae dadansoddi topograffeg yr wyneb ar gydraniad uchel yn bwysig ar gyfer pennu paramedrau sy'n ymwneud â garwedd wyneb, priodweddau adlewyrchol, priodweddau triolegol ac ansawdd wyneb. Mae technegau confocal yn gallu mesur deunyddiau ag amrywiaeth o briodweddau adlewyrchol arwyneb a chael data mesur effeithiol.
Mae'r microsgop confocal laser, sy'n seiliedig ar egwyddor technoleg confocal, yn offeryn arolygu ar gyfer mesuriadau micro-a nano-raddfa ar arwynebau amrywiol ddyfeisiau a deunyddiau manwl. Mae cydraniad uchel y mesuriad yn cyrraedd 0.5nm.
Ceisiadau
1.MEMS
Mesur dimensiwn cydrannau micron ac is-micron, arsylwi morffoleg arwyneb ar ôl prosesau amrywiol (datblygu, ysgythru, meteleiddio, CVD, PVD, CMP, ac ati), dadansoddi diffygion.
Cydrannau mecanyddol 2.Precision, dyfeisiau electronig
Mesur dimensiwn cydrannau micron ac is-micron, arsylwi morffoleg wyneb ar ôl gwahanol brosesau trin wyneb, prosesau sodro, dadansoddi diffygion, dadansoddi gronynnau.
3.Semiconductor/LCD
Arsylwi topograffi wyneb ar ôl gwahanol brosesau (datblygu, ysgythru, meteleiddio, CVD, PVD, CMP, ac ati), dadansoddi diffygion Mesur lled llinellau digyswllt, dyfnder cam, ac ati.
4. Tribology, cyrydiad a pheirianneg wyneb arall
Cyfrol mesur marciau crafiadau, mesur garwedd, topograffeg wyneb, cyrydiad a thopograffeg arwyneb ar ôl peirianneg arwyneb submicron.
Manyleb Technegol
Model: VT6100
Ystod strôc: 100 * 100 * 100mm
Ystod maes golygfa: 120 × 120 μm ~ 1.2 × 1.2 mm
Ailadroddadwyedd mesur uchder (1σ): 12nm
Cywirdeb mesur uchder: ± (0.2+L/100) μm
Cydraniad mesur uchder: 0.5 nm
Ailadroddadwyedd mesur lled (1σ): 40nm
Cywirdeb Mesur Lled: ± 2%
Cydraniad mesur lled: 1nm
