Cyflwyniad i Sganio Nodweddion Microsgop Electron
Mae microsgop electron sganio (SEM) yn offeryn manwl iawn a ddefnyddir ar gyfer dadansoddi morffoleg ardal micro cydraniad uchel. Mae ganddo nodweddion dyfnder mawr o faes, cydraniad uchel, delweddu greddfol, ymdeimlad cryf o dri dimensiwn, ystod chwyddo eang, a'r gallu i gylchdroi a gogwyddo'r sampl prawf mewn gofod tri dimensiwn. Yn ogystal, mae ganddo fanteision amrywiaeth eang o fathau o samplau mesuradwy, bron dim difrod na halogiad i'r sampl wreiddiol, a'r gallu i gael morffoleg, strwythur, cyfansoddiad a gwybodaeth grisialog ar yr un pryd. Ar hyn o bryd, mae sganio microsgopeg electron wedi'i ddefnyddio'n helaeth mewn ymchwil microsgopig mewn meysydd fel gwyddorau bywyd, ffiseg, cemeg, cyfiawnder, gwyddorau daear, gwyddor deunyddiau, a chynhyrchu diwydiannol. Ym maes gwyddorau daear yn unig, mae'n cynnwys crisialeg, mwynoleg, dyddodion mwynau, gwaddodoleg, geocemeg, gemoleg, microffosiliau, astroddaeareg, daeareg olew a nwy, daeareg peirianneg, a daeareg strwythurol.
Er bod sganio microsgopeg electron yn newydd-ddyfodiad yn y teulu microsgop, mae ei gyflymder datblygu yn gyflym iawn oherwydd ei fanteision niferus.
Mae gan yr offeryn gydraniad uchel a gall arsylwi manylion tua 6nm ar wyneb y sampl trwy ddelweddu electronau eilaidd. Trwy ddefnyddio gwn electron LaB6, gellir ei wella ymhellach i 3nm.
Mae gan yr offeryn ystod eang o newidiadau chwyddo a gellir eu haddasu'n barhaus. Felly, gellir dewis gwahanol feintiau o feysydd golygfa i'w harsylwi yn ôl yr angen, a gellir cael delweddau clir gyda disgleirdeb uchel sy'n anodd eu cyflawni gyda microsgopeg electron trawsyrru cyffredinol hefyd ar chwyddo uchel.
Mae dyfnder maes a maes golygfa'r sampl yn fawr, ac mae'r ddelwedd yn gyfoethog mewn synnwyr tri dimensiwn. Gall arsylwi arwynebau garw yn uniongyrchol gyda thoniadau mawr a delweddau toriad metel anwastad o'r sampl, gan roi ymdeimlad o fod yn bresennol yn y byd microsgopig i bobl.
Mae paratoi'r 4 sampl yn syml. Cyn belled â bod y samplau bloc neu bowdr yn cael eu trin ychydig neu heb eu trin, gellir eu harsylwi'n uniongyrchol o dan ficrosgop electron sganio, sy'n agosach at gyflwr naturiol y sylwedd.
5. Gellir rheoli a gwella ansawdd delwedd yn effeithiol trwy ddulliau electronig, megis cynnal a chadw disgleirdeb a chyferbyniad yn awtomatig, cywiro ongl tilt sampl, cylchdroi delwedd, neu wella goddefgarwch cyferbyniad delwedd trwy fodiwleiddio Y, yn ogystal â disgleirdeb cymedrol a thywyllwch yn gwahanol rannau o'r ddelwedd. Trwy ddefnyddio dyfais chwyddo deuol neu ddewisydd delwedd, gellir arsylwi delweddau gyda chwyddiadau gwahanol ar yr un pryd ar y sgrin fflwroleuol.
Gall 6 fod yn destun dadansoddiad cynhwysfawr. Gosodwch sbectromedr pelydr-X gwasgaredig tonfedd (WDX) neu sbectromedr pelydr-X gwasgaredig egni (EDX) i'w alluogi i weithredu fel chwiliwr electron a chanfod electronau adlewyrchiedig, pelydrau-X, cathodoluminescence, electronau a drosglwyddir, electronau Auger, ac ati a allyrrir gan y sampl. Mae ehangu cymhwysiad microsgopeg electron sganio i amrywiol ddulliau dadansoddi ardal microsgopig a micro wedi dangos amlswyddogaetholdeb sganio microsgopeg electron. Yn ogystal, mae hefyd yn bosibl dadansoddi'r meysydd micro dethol o'r sampl wrth arsylwi ar y ddelwedd morffoleg; Trwy osod yr atodiad deiliad sampl lled-ddargludyddion, gellir arsylwi cyffyrdd PN a micro-ddiffygion mewn transistorau neu gylchedau integredig yn uniongyrchol trwy fwyhadur delwedd grym electromotive. Oherwydd gweithrediad rheolaeth awtomatig a lled-awtomatig cyfrifiadurol electronig ar gyfer llawer o chwilwyr microsgop electron sganio, mae cyflymder dadansoddi meintiol wedi'i wella'n fawr.
