Cyflwyniad i sganio nodweddion perfformiad microsgop electron....
Mae yna wahanol fathau o ficrosgopau electron sganio, ac mae gan wahanol fathau o ficrosgopau electron sganio berfformiadau gwahanol. Yn ôl y math o gwn electron, gellir ei rannu'n dri math: gwn electron allyriadau maes, gwn gwifren twngsten a lanthanum hexaboride [5]. Yn eu plith, gellir rhannu microsgopeg electron sganio allyriadau maes yn ficrosgopeg electron sganio allyriadau maes oer a microsgopeg electron sganio allyriadau maes thermol yn ôl perfformiad y ffynhonnell golau. Mae angen amodau gwactod uchel ar y microsgop electron sganio allyriadau maes oer, mae'r cerrynt trawst yn ansefydlog, mae gan yr allyrrydd fywyd gwasanaeth byr, ac mae angen glanhau'r blaen nodwydd yn rheolaidd, sy'n gyfyngedig i arsylwi delwedd sengl, ac ystod y cais yw cyfyngedig; tra bod y microsgop electron sganio allyriadau maes thermol nid yn unig yn barhaus Gall weithio am amser hir, a gellir ei gyfuno hefyd ag amrywiaeth o ategolion i gyflawni dadansoddiad cynhwysfawr. Ym maes daeareg, nid yn unig y mae angen inni arsylwi morffoleg ragarweiniol y sampl, ond mae angen inni hefyd ddadansoddi priodweddau eraill y sampl ar y cyd â'r dadansoddwr, felly defnyddir microsgop electron sganio allyriadau maes thermol yn ehangach.
Mae microsgop electron sganio (SEM) yn offeryn manwl mawr ar gyfer dadansoddi morffoleg micro-barth cydraniad uchel. Mae ganddo nodweddion dyfnder mawr o faes, cydraniad uchel, delweddu greddfol, effaith stereosgopig gref, ystod chwyddo eang, a gellir cylchdroi a gogwyddo'r sampl sydd i'w phrofi mewn gofod tri dimensiwn. Yn ogystal, mae ganddo fanteision amrywiaeth eang o samplau mesuradwy, bron dim difrod a halogiad i'r sampl wreiddiol, a chaffael morffoleg, strwythur, cyfansoddiad a gwybodaeth grisialog ar yr un pryd. Ar hyn o bryd, mae sganio microsgopeg electron wedi'i ddefnyddio'n helaeth mewn ymchwil microsgopig ym meysydd gwyddor bywyd, ffiseg, cemeg, cyfiawnder, gwyddor daear, gwyddor deunyddiau, a chynhyrchu diwydiannol. , Gwaddodeg, Geocemeg, Gemoleg, Micropaleontoleg, Astroddaeareg, Daeareg Olew a Nwy, Daeareg Peirianneg a Daeareg Strwythurol, ac ati.
Er bod y microsgop electron sganio yn seren gynyddol yn y teulu microsgop, oherwydd ei fanteision niferus, mae'r cyflymder datblygu yn gyflym iawn.
1. Mae datrysiad yr offeryn yn gymharol uchel, a gellir gweld manylion tua 6nm ar wyneb y sampl trwy'r ddelwedd electron eilaidd, y gellir ei wella ymhellach i 3nm trwy ddefnyddio gwn electron LaB6.
2 Mae gan chwyddo'r offeryn ystod eang a gellir ei addasu'n barhaus. Felly, gellir dewis gwahanol feysydd golygfa i'w harsylwi yn ôl anghenion, ac ar yr un pryd, gellir cael delweddau clir gyda disgleirdeb uchel, sy'n anodd eu cyflawni gyda microsgopau electron trawsyrru cyffredinol, hefyd o dan chwyddhad uchel.
3 Mae gan arsylwi'r sampl faes dyfnder mawr, maes golygfa fawr, ac mae'r ddelwedd yn llawn tri dimensiwn. Gall arsylwi'n uniongyrchol ar yr arwyneb garw gyda thoniadau mawr a delwedd torri asgwrn metel anwastad y sampl, sy'n gwneud i bobl deimlo fel eu bod yn y byd microsgopig.
4. Mae paratoi sampl yn syml. Cyn belled â bod y sampl bloc neu bowdr wedi'i brosesu ychydig neu heb ei brosesu, gellir ei osod yn uniongyrchol yn y microsgop electron sganio i'w arsylwi, felly mae'n agosach at gyflwr naturiol y deunydd.
5 Gall reoli a gwella ansawdd y ddelwedd yn effeithiol trwy ddulliau electronig, megis cynnal a chadw disgleirdeb a chyferbyniad yn awtomatig, cywiro ongl tilt sampl, cylchdroi delwedd, neu wella goddefgarwch cyferbyniad delwedd trwy fodiwleiddio Y, a disgleirdeb a thywyllwch gwahanol rannau o'r ddelwedd Cymedrol. Gan ddefnyddio dyfais chwyddo dwbl neu ddewiswr delwedd, gellir gweld delweddau gyda chwyddiadau gwahanol ar y sgrin fflwroleuol ar yr un pryd.
6 ar gyfer dadansoddiad cynhwysfawr. Gosodwch sbectromedr pelydr-X gwasgaredig tonfedd (WDX) neu sbectromedr pelydr-X gwasgaredig ynni (EDX) fel bod ganddo swyddogaeth chwiliwr electron a gall hefyd ganfod electronau adlewyrchiedig, pelydrau-X, cathodofluorescence, electronau a drosglwyddir, electroneg Auger ac ati. Mae ymestyn y defnydd o sganio microsgopeg electron i wahanol ddulliau dadansoddi microsgopig a micro-ardal yn dangos amlbwrpasedd sganio microsgopeg electron. Yn ogystal, gall hefyd ddadansoddi micro-ranbarth dewisol y sampl tra'n arsylwi delwedd y topograffi; gosod yr affeithiwr deiliad sampl lled-ddargludyddion, ac arsylwi'n uniongyrchol ar y gyffordd PN a diffygion microsgopig yn y transistor neu'r cylched integredig trwy'r mwyhadur delwedd grym electromotive. Gan fod llawer o stilwyr electronig microsgop sganio wedi sylweddoli rheolaeth awtomatig a lled-awtomatig cyfrifiadurol electronig, mae cyflymder dadansoddi meintiol wedi gwella'n fawr.
