Mae sawl rhan i ficrosgop electron
Mae microsgop electron yn cynnwys tair rhan: casgen lens, dyfais gwactod a chabinet cyflenwad pŵer.
1. Mae'r gasgen lens yn bennaf yn cynnwys ffynonellau electron, lensys electron, deiliaid sampl, sgriniau fflwroleuol a synwyryddion. Mae'r cydrannau hyn fel arfer yn cael eu cydosod i mewn i silindr o'r top i'r gwaelod.
Defnyddir y lens electron i ganolbwyntio electronau a dyma'r elfen bwysicaf yn y gasgen microsgop electron. Yn gyffredinol, defnyddir lensys magnetig, ac weithiau defnyddir lensys electrostatig hefyd.
2. Defnyddir y ddyfais gwactod i sicrhau'r cyflwr gwactod yn y microsgop, fel na fydd electronau'n cael eu hamsugno na'u gwyro ar ei lwybr. Mae'n cynnwys pwmp gwactod mecanyddol, pwmp tryledu, a falf gwactod, ac mae wedi'i gysylltu â'r gasgen lens trwy bibell wacáu.
3. Mae'r cabinet pŵer yn cynnwys generadur foltedd uchel, sefydlogydd cerrynt cyffro ac amrywiol unedau rheoli addasu.
