System Delweddu Microsgop Electron
1. lens gwrthrychol a gwarth
Y lens gwrthrychol yw lens delweddu gyntaf y system ddelweddu. Mae perfformiad microsgop electron yn cael ei bennu'n bennaf gan nodweddion optegol y lens gwrthrychol. Bydd unrhyw ddiffygion yn y lens gwrthrychol yn cael eu chwyddo ymhellach gan lensys eraill yn y system ddelweddu. Felly, mae'n ofynnol i aberration y lens gwrthrychol fod mor fach â phosibl ac mae'r chwyddhad yn ddigon uchel, ac mae'r lens gwrthrychol gyda chyffro cryf, hyd ffocws byr (1.5-3mm) a diaffram lens gwrthrychol fel arfer. a ddefnyddir i leihau aberration sfferig. Oherwydd bod yr agorfa optegol yn rhy fach, bydd datrysiad y lens gwrthrychol yn cael ei leihau oherwydd yr effaith diffreithiant a bydd ymyrraeth y trawst electron yn gryf oherwydd effaith llygredd yr ymyl optegol, felly ni all yr agorfa optegol fod yn rhy fach .
Mae'r stigmatydd yn rhan bwysig o sicrhau bod datrysiad y lens gwrthrychol yn cael ei wella. Mae'n defnyddio maes magnetig gyda chryfder a chyfeiriadedd addasadwy i gywiro'r astigmatedd echelinol a achosir gan y lens gwrthrychol an-axisymmetric.
Mae'r stigmatydd electromagnetig a ddefnyddir yn gyffredin yn cynnwys dau grŵp o bedwar pâr o electromagnetau wedi'u gosod yn gyfartal o amgylch y bwlch rhwng y darnau polyn. Mae'r ddau faes magnetig cywiro eliptig a ffurfiwyd yn berpendicwlar i'w gilydd, a thrwy newid dwyster excitation a chyfeiriad maes magnetig y ddwy set o electromagneteg - gellir ffurfio maes magnetig cywiro cymesurol nad yw'n gylchdro. Os yw ei gryfder yn hafal i faes astigmatedd y lens, ac mae'r cyfarwyddiadau yn berpendicwlar i'w gilydd, gall ddileu'r astigmatedd.
2. drych canolradd a drych taflunio
Mae'r drych canolradd yn lens magnetig wan gyda hyd ffocal hir a chwyddhad amrywiol. Mae twll mewnol y darn polyn yn fwy, ac mae'r chwyddhad rhwng 0-20. Pan fydd y chwyddhad yn fwy nag 1, fe'i defnyddir i chwyddo'r drych gwrthrychol; pan fo'r chwyddhad yn llai nag 1, fe'i defnyddir i leihau'r drych gwrthrychol.
Mae'r drych tafluniad yn lens magnetig cryf o hyd ffocal byr, gan ddefnyddio esgidiau polyn agorfa fach gymesur i fyny ac i lawr - i gael chwyddhad mawr. Mae gan y drych taflunio gerrynt cyffro penodol, sy'n chwarae rôl chwyddo'r ddelwedd ganol a'i thaflu i'r sgrin fflwroleuol.
3. Ymhelaethiad tri cham
Mae'r chwyddo uchaf o ficrosgop electron yn cael ei bennu gan ffactorau megis perfformiad yr offeryn, datrysiad y plât sylfaen ffotograffig (neu sgrin fflwroleuol), ac ati Yn gyffredinol, gall y system delweddu chwyddo eilaidd gael delwedd electronig wedi'i chwyddo gan tua 200,000 o weithiau. Mae'r lens gwrthrychol yn chwyddo manylion y sampl 100 gwaith ac yn ffurfio'r ddelwedd ar y drych gwrthrychol, tra bod y drych canolradd yn chwyddo delwedd y lens gwrthrychol 20 gwaith ac yn ei ddelweddu ar y drych taflunio; mae'r drych taflunio yn chwyddo delwedd y drych canolradd 100 gwaith ac yn ffurfio'r ddelwedd ar y sgrin fflwroleuol. Gellir gwireddu addasiad nifer y mynachod chwyddedig trwy newid cerrynt cyffrous y mewnosodiad canol. Ar ôl i gerrynt cyffroi'r dref ganol gael ei newid, dylid hefyd newid cerrynt cyffro'r lens gwrthrychol yn briodol i sicrhau bod awyren drych y lens gwrthrychol wedi'i chyfuno â'r arwyneb mowntio canol, er mwyn cael delwedd glir o'r canolbwynt.
Yn y system ddelweddu tri cham, os yw cerrynt cyffro'r gwrthrych yn cael ei newid, gellir gwneud delwedd y lens gwrthrychol o dan y mownt canol.
Mae'r drych gwrthrych yn "wrthrych rhithwir", sy'n cael ei ffurfio yn ddelwedd go iawn bach ar wyneb gwrthrych A y drych taflunio. Mae'r drych taflunio wedi'i ddelweddu ar y sgrin fflwroleuol, fel y gellir cael delwedd electronig wedi'i chwyddo gan filoedd i ddegau o filoedd o weithiau. Gellir lleihau'r ystumiad delwedd a gynhyrchir gan y dull hwn trwy iawndal cilyddol ystumiad casgen y drych canolradd ac ystumiad pincushion y drych taflunio.
Os yw'r lens gwrthrychol ar gau a bod y drych canolradd yn cael ei ddefnyddio yn lle'r dref gwrthrych ar gyfer delweddu, gellir lleihau'r chwyddhad i tua 100-300 plws, a gellir cael delweddau â maes golygfa mwy.
