Rhyngweithio electronau â mater yw'r sylfaen ar gyfer sganio cynhyrchu microsgop electron. Mae electronau eilaidd, electronau Auger, pelydrau-X nodweddiadol a phelydrau-X continwwm, electronau ôl-wasgaredig, electronau a drosglwyddir, ac ymbelydredd electromagnetig yn yr ystodau gweladwy, uwchfioled ac isgoch i gyd yn cael eu cynhyrchu pan fydd pelydryn o electronau digwyddiadau ynni uchel yn peledu wyneb. mater. Gellir cynhyrchu dirgryniadau dellt (ffonau), osgiliadau electronau (plasmas), a pharau tyllau electronau ar yr un pryd. Mewn theori, gellir pennu nifer o nodweddion ffisegol a chemegol y sampl ei hun, gan gynnwys ei siâp, cyfansoddiad, strwythur grisial, strwythur electronig, a meysydd trydan neu magnetig mewnol, trwy fanteisio ar y rhyngweithio rhwng electronau a mater.
Er mwyn creu pelydr electron gydag egni penodol, dwyster, a diamedr sbot ar wyneb y sampl, mae'r canon electron yn allyrru pelydr electron gydag egni hyd at 30 keV, sydd wedyn yn cael ei leihau a'i ganolbwyntio gan y lens cydgyfeiriol a'r lens gwrthrychol. . Bydd y trawst electron digwyddiad yn raster pwynt wrth bwynt sganio wyneb y sampl o dan ddylanwad maes magnetig y coil sganio mewn cyfnod penodol o amser a gofod. Mae electronau eilaidd yn cael eu cyffroi o'r sampl electronig o ganlyniad i gysylltiad yr electron digwyddiad ag arwyneb y sampl. Mae swyddogaeth y casglwr electronau eilaidd yn caniatáu iddo ddal electronau eilaidd sy'n cael eu hallyrru i bob cyfeiriad.
ac yna'n cael ei yrru gan yr electrod cyflymu i'r scintillator i'w drawsnewid yn signal optegol, cyn teithio i lawr y bibell ysgafn i'r tiwb ffoto-multiplier i gael trosiad arall o'r signal optegol. i drosglwyddo signalau trydanol. Mae'r mwyhadur fideo yn chwyddo'r signal trydanol hwn, sydd wedyn yn cael ei gyflenwi i grid y tiwb llun i reoleiddio ei ddisgleirdeb ac arddangos y ddelwedd electron eilaidd sy'n adlewyrchu amrywiad arwyneb y sampl ar y sgrin fflwroleuol.
Mae'r broses ddelweddu a ddefnyddir mewn delweddu TEM, sy'n defnyddio delweddu lens magnetig ac sy'n cael ei orffen i gyd ar unwaith, yn hollol wahanol.
Y system electron optegol, y system sganio, y system canfod signal, y system arddangos, y cyflenwad pŵer, a'r system gwactod yw'r rhan fwyaf o'r microsgop electron sganio. Mae'r graffig yn dangos cynrychiolaeth sgematig o'i gwneuthuriad. Mewn profion gludiog, defnyddir microsgopeg electron sganio amlaf.
